Takeda Clean Room

東京大学マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点
微細加工部門

Center of The University of Tokyo for The Advanced Research Infrastructure for Materials and Data Hub
Nanofabrication Division

ニュース

News

  • 現在、武田CRでは新型コロナウイルス感染症対策を行っています。詳しくはページ下部をご覧ください。
  • (2022/08/25) 9月15日に第17回D2Tシンポジウムが開催されます。詳細はこちら
  • (2022/08/25) 9月1日・5日に2022年度第1回・第2回D2T特別セミナーが開催されます。詳細はこちら(第1回第2回)。
  • (2022/08/18) 2022年9月21日のクリーンルーム新人講習会の予約受付を開始いたしました。申し込みページはこちら
  • (2022/03/31) 2022年4月1日より、文科省マテリアル先端リサーチインフラ事業(ARIM)が始まりました。設備共用は従来と変わらずご利用ください。ARIMについては以下をご参照ください。
    ARIMセンターハブ(NIMS): https://nanonet.mext.go.jp/ (旧版)https://www.nanonet.go.jp/pages/arim/
    東京大学ARIMハブ: https://arim.t.u-tokyo.ac.jp/
  • 以前のニュース
  • (2022/06/27) 2022年7月6日のクリーンルーム新人講習会の予約受付を開始いたしました。申し込みページはこちら
  • (2022/06/24) ナノシステム集積センター設立記念シンポジウムを7月5日(火)14時10分より開催します。詳細はこちら
  • We have a policy for infectious desiease control. Please see below for details.
  • (2022/08/25) The 17th D2T symposium is held on 9/15. For details please refer to here.
  • (2022/08/18) Registration page for Newcomer Workshop on 9/21 (Japanese) is open.
  • (2022/03/31) Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology in Japan (ARIM) conducted by MEXT have started since April 1, 2022. You can use the open facility as usual. Please refer about ARIM on the web sites as below.
    ARIM center hub (NIMS): https://nanonet.mext.go.jp/ (Old)https://www.nanonet.go.jp/pages/arim/
    ARIM The University of Tokyo Hub: https://arim.t.u-tokyo.ac.jp/
  • Old news
  • (2022/06/27) Registration page for Newcomer Workshop on 7/6 (Japanese) is open.
  • (2022/06/24) ナノシステム集積センター設立記念シンポジウムを7月5日(火)14時10分より開催します。詳細はこちら
  • (2022/04/22) Registration page for Newcomer Workshop and Refresh Course is open.
講習会情報や受賞はこちらから!
Click here for information on workshops and awards!

2022年度の新人講習会の日程のご確認はこちらから。

The dates for the 2022 Newcomer's Seminar have been finalized.

令和3年度「秀でた利用成果」最優秀賞受賞しました!3年連続受賞・内2年連続最優秀の快挙!

We were awarded the highest award for "Outstanding Achievement" in 2021!

感染症対策

Infectious Disease Control

新型コロナウイルス感染症への対策について(2022/7/1 更新)
Measures to Combat New Coronavirus Infections(update 7/1/2022)

武田CRユーザーの皆様
東京大学における新型コロナウイルス感染症対応活動制限レベルが3月28日よりレベルBからレベルAに引き下げられました。武田クリーンルームにおきましてもこれに伴い感染を防ぐための対応レベルを引き下げます。 コロナウイルス感染症対応研究室マニュアル(武田先端知ビルSCR)もご確認ください。

Dear TakedaCR users
The restriction level of The University of Tokyo Activity Restrictions Index are lowered from B to A from March 28. Please read 「コロナウイルス感染症対応研究室マニュアル(武田先端知ビルSCR)」Page.14
(Very sorry for in Japanese)

・活動レベルの制限を緩和します(30%→50%へ)。従来通り入室人数や時間を調整することもあります。

また、以下のルールはこれまで通りですが、今一度ご確認の上、遵守をお願いします。
・入室予約(前日正午まで)の徹底をお願いします。
・東京大学健康管理報告
地下2階入口(4人)、前室(2人)、控室(4人)、更衣室(4人)の定員を守り、会話は可能な限り控えてください。
・装置前での密を避ける、顔を向き合っての会話を避けるようにしてください。

不明な点は下記にお問い合わせください。(a)は@に変更してください。
nano_help(a)if.t.u-tokyo.ac.jp
以上、感染拡大を防ぎ、研究活動を継続するためにご協力をお願いします。


・Please complete the CR Entrance and Exit Reservation "before noon on the day before".
・Please ensure the usage procedure. Record the Self Health Monitoring Sheet.
Please keep the capacity of the entrance hall on B2F(4 people), the footware room(2 people), the waiting room (4 people) and the changing room(4 people). Please refraine from speaking as possible.
・Be sure to keep the distance with other people nearby, and don't speak with close-range.

We request you to reduce the number of people in your group as possible.
You can communicate between inside and outside of CR by Zoom and the remote controll system.

If you have any questions, please mail to
nano_help(a)if.t.u-tokyo.ac.jp (a)→@
Thank you very much for your cooperation.

クリーンルームについて

About Clean Room

山手線内で最も清浄度の高いクラス1のクリーンルーム
The cleanest class 1 clean room in Yamanote Line

東京大学「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点」にようこそ!
東京大学は、2007年より文部科学省「ナノテクノロジー・ネットワーク」事業に参加し、その後の「ナノテクノロジープラットフォーム」にも継続して参加しております。
リソグラフィー・微細加工に有用な多岐にわたる装置・最先端の研究環境を提供いたします。産業界・公的機関の皆様、ぜひご相談下さい。

Welcome to the University of Tokyo Ultrafine Lithography and Analysis Center Home page!
Since 2007, The University of Tokyo has been part of the MEXT project "Nanotechnology Network" and the renewed project "Nanotechnology Platform". A wide-range of equipments is provided for cutting edge research environment. Both industries and public organizations are very welcome to contact us for more details.

武田先端知ビル
 

装置

Equipment

一流の装置群があなたのものに
First-class equipment for you

武田CRには一流の装置群が数多く揃っています。
2020年10月に大規模な装置移設と模様替えを行いました。クリーンルーム内の地図から装置の場所を確認できます。
各種装置の詳細や装置の予約はこちらから。

Takeda CR has a number of top-notch equipment available.
In October 2020, we underwent a major equipment relocation and redecoration. You can find out where the equipment is located on our cleanroom map.
For more information about the various devices and to make an appointment for equipment, click here.

リソグラフィー・露光・描画装置
成膜・膜堆積
膜加工・エッチング
合成・熱処理・ドーピング
表面処理
切削・研磨・接合
形状・形態観察・分析
電気計測
機械計測
その他

Lithography, exposure and drawing equipment
Film Formation and Deposition
Film Processing and Etching
Synthesis, Heat Treatment, and Doping
Surface Treatment
Cutting, Grinding and Joining
Shape and morphology observation and analysis
Electrical Measurement
Machine Measurement
Other

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