表面処理

Surface treatment

表面処理には表面を特殊加工する技術および表面の改質がある。表面特殊加工では研磨剤を用いたサンドブラスト工法があり、表面改質では制御されたプラズマによる物質間の接着強度の向上や、物質表面のコーティングに際しての濡れ性の向上、表面のクリーニングなどが行われる。

Surface treatment includes surface special processing and surface modification. Surface special processing includes sandblasting using abrasives, and surface modification includes improving the adhesion strength between materials using controlled plasma, improving the wettability of the coating on the material surface, and cleaning the surface.

サンドブラスト

Sandblasting

サンドブラストは研磨剤による機械的な表面加工方法である。例をあげれば、マイクロブラスト工法ではガラスをマスキングの形状によりエッチングし、孔あけ加工、穴あけ加工、溝加工、ハーフエッチングなどの微細加工を行う。穴径:30ミクロン、溝幅:20ミクロンまでの微細加工が可能

Sandblasting is a mechanical surface processing method using abrasives. For example, in the microblasting method, glass is etched according to the shape of the masking to perform micromachining such as drilling, hole drilling, grooving, and half-etching. (Hole diameter: up to 30 microns, groove width: up to 20 microns)

サンドブラスト
Sandblasting Machine
装置写真

【English】Sandblasting Machine
【別名】
【型式番号】不二製作所
【apparatus ID】148
【機器ID】F-UT-139
【機能】クリーンルーム対応装置。アルミナ粉末によってブラスト加工ができます

【Alias】
【Model Number】Fuji Manufacturing Co.
【Apparatus ID】148
【Equipment ID】F-UT-139
【Specifications】CR compatible machine. Blast machining with alumina powder.

プラズマ

Plasma

コロナ/ガスプラズマによる表面改質は次のように行われる。高周波高電圧により、電極間にコロナ放電を起こさせ、発生するプラズマ(非平衡プラズマ、低温プラズマ)の化学的に活性(不安定)で反応性の高いラジカルを利用して、表面の有機物を除去したり、表面へ反応性の高い親水基を生成する。これにより、金属と樹脂の接着強度向上、金属材料及び樹脂材料に対するコーティング材の濡れ性向上、有機汚れの洗浄等のニーズに応える。

The mechanism of surface modification by corona/gas plasma is as follows. A high-frequency high voltage is used to generate a corona discharge between electrodes, and the generated plasma (non-equilibrium plasma, low-temperature plasma) is made chemically active (unstable), and highly reactive radicals are used to remove organic matter from the surface or to generate highly reactive hydrophilic groups on the surface. This makes it possible to improve the adhesion strength between metal and resin, improve the wettability of coating materials on metal and resin materials, and clean organic stains.

UVオゾンクリーナー
UV ozone cleaner
装置写真

【English】UV ozone cleaner
【別名】UV-1 オゾンクリーナー
【型式番号】Ozon Cleaner SAMCO UV-1
【apparatus ID】178
【機器ID】F-UT-158
【機能】レジスト等のアッシング処理が可能

【Alias】
【Model Number】SAMCO UV-1
【Apparatus ID】178
【Equipment ID】F-UT-158
【Specifications】Ashing of resist is possible.

アクアプラズマ表面改質装置
Plasama Surface Modificaton Equipment
装置写真

【English】Plasama Surface Modificaton Equipment
【別名】
【型式番号】SAMCO AQ-50
【apparatus ID】181
【機器ID】F-UT-164
【機能】特にポリマーの接合前の表面処理、超臨界流体製膜前処理、新水化処理が可能。

【Alias】
【Model Number】SAMCO AQ-50
【Apparatus ID】181
【Equipment ID】F-UT-164
【Specifications】In particular, surface treatment prior to polymer bonding, supercritical fluid film formation pretreatment, and fresh water treatment are available.