その他
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NCプリント基板加工装置
NC mechanical PCB and Micro processing Machine
【English】NC mechanical PCB and Micro processing Machine
【別名】
【型式番号】LPKF Protomat S62装置
【apparatus ID】161
【機器ID】F-UT-142
【機能】機械加工によって切削可能なすべての材料の加工が可能。
【Alias】Laser PCB and Micro processing Machine LPKF ProtoLaser U3
【Model Number】LPKF Protomat S6
【Apparatus ID】161
【Equipment ID】F-UT-142
【Specifications】Capable of machining all materials that can be cut by machining.
精密二次元NC加工装置
Two-dimensional NC Micro Milling Machine
【English】Two-dimensional NC Micro Milling Machine
【別名】
【型式番号】NC PMT Micro MC-1
【apparatus ID】176
【機器ID】F-UT-153
【機能】
【Alias】
【Model Number】NC PMT Micro MC-1
【Apparatus ID】176
【Equipment ID】F-UT-153
【Specifications】
金属二次元NC加工装置
Metal two-dimensonal NC Milling Machine
【English】Metal two-dimensonal NC Milling Machine
【別名】NC KitMill RD420
【型式番号】KitMill RD420
【apparatus ID】188
【機器ID】F-UT-160
【機能】
【Alias】
【Model Number】NC KitMill RD420
【Apparatus ID】188
【Equipment ID】F-UT-160
【Specifications】
樹脂三次元NC加工装置
Plastic three-dimensonal NC Milling Machine
【English】Plastic three-dimensonal NC Milling Machine
【別名】
【型式番号】NC Roland MDX-40A
【apparatus ID】189
【機器ID】F-UT-161
【機能】
【Alias】
【Model Number】NC Roland MDX-40A
【Apparatus ID】189
【Equipment ID】F-UT-161
【Specifications】
走査型プローブ顕微鏡 L-trace II
scanning probe microscope L-trace II
【English】scanning probe microscope L-trace II
【別名】L-traceII
【型式番号】SPM SII L-traceII
【apparatus ID】110
【機器ID】A-UT-089
【機能】微細構造解析所有
分解能： 面内0.5nm 垂直0.05nm
試料サイズ： 150mm 厚さ22mm
低いZ方向直進エラー、高いS/N比熱源抑制効果による低いドリフト、大きな試料サイズの測定が可能
【Alias】
【Model Number】SPM SII L-traceII
【Apparatus ID】110
【Equipment ID】A-UT-089
【Specifications】Owned by microstructure analysis
Resolution: 0.5nm in-plane, 0.05nm vertically
Sample size: 150mm, 22mm thick
Low Z-direction straight-line error High S/N ratio Low drift due to heat source suppression Large sample size can be measured
SOM-3355 IR 顕微鏡
SOM-3355 IR Microscope
【English】SOM-3355 Laser Microscope
【別名】クラス1レーザー部品SOM3355-IR
【型式番号】120
【apparatus ID】22
【機器ID】
【機能】微細構造解析所有
【Alias】
【Model Number】SOM3355-IR
【Apparatus ID】120
【Equipment ID】
【Specifications】
CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システムXVision200TB
Hybrid FIB-SEM System linked with CAD navigation system XVision200TB
【English】Hybrid FIB-SEM System linked with CAD navigation system XVision200TB
【別名】FIB-SEM SII XVision200TB
【型式番号】日立ハイテクノロジーズ
【apparatus ID】124
【機器ID】A-UT-072
【機能】微細構造解析所有
FIB分解能：4nm@30kV、最大電流45nA
SEM分解能：3nm@5kV、加速電圧1～30kV
最大8インチステージ Arビーム照射 W,C,絶縁膜デポ XeF,有機系エッチングガス CADデータオーバレイ表示 4軸マイクロプローブ レーザー顕微鏡と共通の座標系
【Alias】FIB-SEM SII XVision200TB
【Model Number】Hitachi High-Technologies Corporation
【Apparatus ID】124
【Equipment ID】A-UT-072
【Specifications】Owned by Microstructure Analysis
FIB resolution: 4nm@30kV, maximum current 45nA
SEM resolution: 3nm@5kV, acceleration voltage 1 to 30kV
Maximum 8 inch stage Ar beam irradiation W, C, insulating film depot XeF, organic etching gas CAD data overlay display 4 axis micro probe Common coordinate system with laser microscope
UVプリント基板加工装置
Circuit Board Graver UV LPKF ProtoLaser U4
【English】Circuit Board Graver UV LPKF ProtoLaser U4
【別名】
【型式番号】ProtoLaser U4
【apparatus ID】182
【機器ID】
【機能】UVレーザーソースを搭載しており、様々な材料をUV波長のレーザーで加工できます。
【Alias】
【Model Number】ProtoLaser U4
【Apparatus ID】182
【Equipment ID】
【Specifications】Equipped with a UV laser source, it can process a variety of materials with UV wavelength lasers.
気相拡散炉
Vapor Phase Diffusion furnace
【English】Vapor Phase Diffusion furnace
【別名】
【型式番号】
【apparatus ID】105
【機器ID】
【機能】
【Alias】
【Model Number】
【Apparatus ID】105
【Equipment ID】
【Specifications】