装置色分け

Color coding of equipment

リソグラフィー・露光・描画装置 Lithography, exposure and drawing equipment
成膜・膜堆積 Film Formation and Deposition
膜加工・エッチング Film Processing and Etching
合成・熱処理・ドーピング Synthesis, Heat Treatment, and Doping
表面処理 Surface Treatment
切削・研磨・接合 Cutting, Grinding and Joining
形状・形態観察・分析 Shape and morphology observation and analysis
電気計測 Electrical Measurement
機械計測 Machine Measurement
その他 Other

クリーンルーム全体

Overall View of Clean Room