武田先端知ビル地下に設置したクラス1、100、1000のクリーンルームです。

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東京大学 武田先端知スーパークリーンルーム

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東京大学「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点 ホームページにようこそ!

東京大学は、2007年より文部科学省「ナノテクノロジー・ネットワーク」事業に
参加し、その後の「ナノテクノロジープラットフォーム」にも継続して参加して
おります。リソグラフィー・微細加工に有用な多岐にわたる装置・最先端の研究
環境を提供いたします。
産業界・公的機関の皆様、ぜひご相談下さい。

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