世界最高性能機器群をワンストップサービスで提供 超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点 東京大学 University of Tokyo
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AIMD-先端知機能材料デバイスラボラトリーズ-Advanced Intellectual Materials and Devices Laboratories
ー大規模集積システム設計教育研究センターVLSI Design and Education Center
東京大学ーThe University of Tokyo

ご挨拶

東京大学「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点《ホームページにようこそ!

東京大学は、2012年に開始した文部科学省「ナノテクノロジー・プラットフォーム」事業に参加し、
リソグラフィー・微細加工・ナノ計測に有用な多岐にわたる装置・最先端の研究環境を提供いたします。
産業界・公的機関の皆様、ぜひご相談下さい。
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エントランスホール(1F) 武田先端知ビル正面入り口
VLSI Design and Education Center(4F) TAKEDA HALL(5F) 武田先端知ビル正面入り口
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