装置地図
Equipment Map
装置色分け
Color coding of equipment
リソグラフィー・露光・描画装置
Lithography, exposure and drawing equipment
成膜・膜堆積
Film Formation and Deposition
膜加工・エッチング
Film Processing and Etching
合成・熱処理・ドーピング
Synthesis, Heat Treatment, and Doping
表面処理
Surface Treatment
切削・研磨・接合
Cutting, Grinding and Joining
形状・形態観察・分析
Shape and morphology observation and analysis
電気計測
Electrical Measurement
機械計測
Machine Measurement
その他
Other
クリーンルーム全体
Overall View of Clean Room
![CR地図](images/clean_room.png)
クリーンルーム1
Clean Room 1
![CR1地図](images/cr1_map.png)
![CR1地図](images/cr1_map_E.png)
クリーンルーム2
Clean Room 2
![CR2地図](images/cr2_map.png)
![CR2地図](images/cr2_map_E.png)
クリーンルーム3
Clean Room 3
![CR3地図](images/cr3_map.png)
![CR3地図](images/cr3_map_E.png)