東京大学 武田先端知ビル Takeda-Sentanchi Bldg.
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AIMD-先端知機能材料デバイスラボラトリーズ-Advanced Intellectual Materials and Devices Laboratories
ー大規模集積システム設計教育研究センターVLSI Design and Education Center
東京大学ーThe University of Tokyo
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スタッフ一覧

本プロジェクトの構成員をご紹介致します。
微細加工プラットフォーム代表
大規模集積システム設計教育研究センター長 教授
浅田 邦博
微細加工PFマネージャ
大学院工学系研究科 准教授
三田 吉郎
東大VDEC所有の電子線描画装置は、110nmノード直接描画用8インチ量産装置ADVANTEST F5112の改良機種で、欠片~2~4インチ等丸型基板、5インチフォトマスクなど多種サンプルに高速描画ができます。
大学院工学系研究科 准教授
大矢 忍
大学院工学系研究科 助教
レ・ダック・アイン
技術専門職員
澤村 智紀
研究員
エリック ルブラッスール
研究員
藤原 誠
学術支援専門職員
水島 彩子
学術支援専門職員
 太田悦子
事務補佐員
渡邊 かをる
技術補佐員
近藤 尚子
技術補佐員
広沢 公彦
学生技術補佐員
瀬戸口 良太
学生技術補佐員
竹城雄大
学生技術補佐員
山田健太郎
お問い合わせ
本プロジェクトのお問い合わせは、以下担当までご連絡下さい。

TEL:03-5841-1506

〒113−8656
東京都文京区弥生2−11−16 武田先端知ビル306号室(東京大学浅野キャンパス内)
担当:渡邊 かをる

URL:http://nanotechnet.t.u-tokyo.ac.jp/

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