文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ (ARIM)
Advanced Research Infrastructure for Materials and Nanotechnology in Japan
東京大学マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点
Center of The University of Tokyo for The Advanced Research Infrastructure for Materials and Data Hub
東京大学マテリアル先端リサーチインフラ・データハブ拠点微細構造解析部門
Microstructures Analysis Division, Center of The University of Tokyo for The Advanced Research Infrastructure for Materials and Data Hub
システムデザイン研究センター
System Design Research Center
国立大学法人東京大学
The University of Tokyo
ナノテクジャパン
Nanotechnology Platform
微細加工プラットフォーム
Microfabrication Platform
微細加工全16拠点の相談窓口
Link to the inquiry counter for the whole sixteen microfabrication bases