東京大学 武田先端知ビル Takeda-Sentanchi Bldg.
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AIMD-先端知機能材料デバイスラボラトリーズ-Advanced Intellectual Materials and Devices Laboratories
ー大規模集積システム設計教育研究センターVLSI Design and Education Center
東京大学ーThe University of Tokyo

武田先端知ビルスーパークリーンルーム

クリーンルーム
武田先端知ビル地下2Fに3種類のクリーンルームがございます。すべてのクリーンルームには共通して多くの状況に対応できる充実したユーティリティーを兼ね備えております。クリーンルーム1には、リソグラフィーコーナー。クリーンルーム2には、ウェットプロセスドラフトがございます。また、スーパークリーンルームはクリーン度としてクラス1000を誇ります。
武田先端知スーパークリーンルーム
面積:145m2
クラス:1000
クリーンルーム 1
面積:155m2
クラス:1
クリーンルーム 2
面積:300m2
クラス:100
可変整形ビーム電子線描画装置(アドバンテストF5112改造機) ウエットプロセス用ドラフト
可変整形ビーム電子線描画装置
(アドバンテストF5112改造機)
ウエットプロセス用ドラフト
・高スループット(平均露光時間1時間未満)
・精度100nm以上
・各種サイズ・材質の基板に対応(最大8インチ)
・各種ウエットプロセスに対応
シリコン深掘りエッチング装置(Alcatel AMS100) 汎用反応性プラズマエッチング装置(アネルバ L501D)
シリコン深掘りエッチング装置
(Alcatel AMS100)
汎用反応性プラズマエッチング装置
(アネルバ L501D)
アスペクト比100対応のMEMS用エッチング 各種サイズ・材質に対応
上記の他にも多数の有用な装置を多数提供致します。
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